SCROLLVAC SC-D干式壓縮真空泵是按照渦旋式壓縮機(jī)的工作原理運(yùn)行,每臺(tái)泵集成了2個(gè)阿基米德螺旋螺桿,通過(guò)減小凹槽的容積,并將氣體從外向里壓縮產(chǎn)生真空
1、SC系列真空泵特點(diǎn):
·可以提供抽速為5,15和30m3/h的3款產(chǎn)品SC5/15/30D;
·高真空,低可達(dá)0.01mbar;
·低噪聲;
·低振動(dòng);
·允許進(jìn)氣壓力大;
·重量輕;
·能耗低;
2、應(yīng)用范圍:
·電子束焊接;
·激光;
·檢漏系統(tǒng);
·加速器/同步加速器;
·表面分析儀;
·STM’s;
·ELMI;
·小型渦輪泵組;
·搬送室;
基本參數(shù):
技術(shù)參數(shù)表[50Hz] | SCROLLVAC SC D | |||
| SC 5D | SC 15D | SC 30D | SC 60D |
抽氣速率[m3/h] | 5.4 | 1.3 | 3.4 | 4.8 |
大壓力差[mbar] | ≤5*10-2 | ≤1.5 | ≤1.0 | ≤2 |
電機(jī)功率[KW] | 1.5 | 2.5 | 2.5 | 3.5 |
進(jìn)氣口徑[mm] | 3 |