概要
GX 干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。 效率提高的同時降低了運(yùn)行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)一致的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載制程。 模塊化設(shè)計允許用戶對 GX 干泵進(jìn)行配置以適合各個工廠的要求。 超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計量
功能和優(yōu)勢
低運(yùn)行成本
與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本多可降低 50%
無需預(yù)防性維護(hù)
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠(yuǎn)程
可以改進(jìn)工具吞吐量
可用的快的負(fù)載鎖定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
| GX100 | GX600 | GX1000 |
性能 |
|
|
|
峰值速度 | 105 m3h-1 | 620 m3h-1 | 800 m3h-1 |
| 62 ft3min-1 | 365 ft3min-1 | 471 ft3min-1 |
| 1750 lmin-1 | 10333 lmin-1 | 13333 lmin-1 |
極限壓力 | 5 x 10-3 mbar | 7 x 10 -4 mbar | 1 x 10-3 mbar |
| 3.75 x 10-3 Torr | 5.25 x 10-4 Torr | 7.5 x 10-4 Torr |
| 0.5 Pa | 0.07 Pa | 0.10 Pa |
700 Torr 排氣壓力下的極限 |
|
|
|
功率 | 1 kW | 1.6 kW | 1.6 kW |
AUC（有源設(shè)備控制器） | 0.05 kW | 0.05 kW | 1.05 kW |
水* |
|
|
|
水入口 | 1 slm | 2 slm | 2 slm |
氮氣 | 0 slm | 0 slm | 4 或 14 slm ** |
安裝詳細(xì)信息 |
|
|
|
占地面積（不包括排氣裝置） | 0.20 m2 | 0.20 m2 | 0.20 m2 |
重量 | 120 kg | 220 kg | 230 kg |
入口連接 | ISO 63 | ISO 100 | ISO 100 |
出口連接 | NW25 | NW25 | NW25 |
極限噪音 | <55 dB(A) | <55 dB(A) | <55 dB(A) |
