概述
iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)一致的泵送能力。
iGX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能，允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套全面的網(wǎng)絡選項，可確保泵持續(xù)運轉(zhuǎn)。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔到中等負載的各種工藝。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內(nèi)的多種安裝選項。
應用
負載鎖
輸送
計量
功能和優(yōu)勢
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比，設施成本多可降低 50%
無需預防性維護
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠程
可以改進工具吞吐量
可用的快的負載鎖定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
峰值速度 | 105 m3h-1 | 620 m3h-1 |
| 62 cfm | 365 cfm |
| 1750 l min-1 | 10333 l min-1 |
極限壓力 | 5.00E-03 mbar | 7.00E-04 mbar |
| 3.75E-03 Torr | 5.25E-04 Torr |
| 0.50 Pa | 0.07 Pa |
AUC（有源設備控制器） | 0.05 kW | 0.05 kW |
水入口* | 1 slm | 2 slm |
氮 | 0 slm | 0 slm |
占地面積（不包括排氣裝置） | 0.20 m2 | 0.20 m2 |
重量 | 120 kg | 220 kg |
進氣口連接 | ISO63 | ISO100 |
出口連接 | NW25 | NW25 |
極限噪音 | < 55 dB(A) | < 55 dB(A) |
